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洁净室“压差”的控制

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大家都知道,“人往高处走,水往低处流”,大自然中的空气也是随风流动,实际上这种流体的运动,都离不开“压差”的作用。 在洁净室工程的洁净区内,各个房间相对于室外大气的压力差,大家称之为“绝对压差”。每个相邻房间、相邻区域的压力差,大家称之为“相对压差”,简称“压差”。

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保持压差所采取的措施:

一般的情况下,送风系统采取定风量的方式较多,即首先保证洁净室送风量相对恒定,调节洁净室回风量或排风量,从而控制洁净室压差风量,维持洁净室压差值。在洁净室回、排风支管上安装手动对开多叶调节阀或蝶阀,调节回、排风量,控制室内压差。在空调系统调试时调好洁净室内压差,在空调系统运行过程中,洁净室内压差偏离设定值时,再调节就比较麻烦。在洁净室回(排)风口,安装阻尼层(如单层无纺布、不锈钢滤网、铝合金滤网、尼龙滤网等),能够有效地保证洁净室的正压,但需经常更换作为阻尼层的过滤网,以防洁净室内正压过高。在相邻房间隔墙上安装余压阀,以控制正压。其优点是设备简单,可靠,缺点是余压阀尺寸比较大,通风量有限,不方便安装,也不方便与风管连接。在洁净室回(排)风支管调节阀阀轴上安装电动实行系统,从而与相对应的阀门配套组成电动调节阀。根据反馈的洁净室压差值,微调阀门开度,自动调节洁净室内压差恢复到设定值。此种方式用于控制洁净室内压差比较可靠、精确,在工程实践中应用较多,该系统可安装在需要显示压差的洁净室或典型洁净室的回(排)风支管调节阀上。

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在洁净室送风支管、回(排)风支管上安装文丘里风量控制阀。文丘里阀有三种类型——定风量阀,可提供稳定的气流量;双稳态阀,可提供两种不同的气流量,即**、最小流量;变风量阀,可通过对指令低于1秒钟的响应 和流量反馈信号闭环控制空气流量。

文丘里阀具有不受风管压力变化影响、反应迅速(小于1秒钟)、调节精确等特点,但设备比较昂贵,适合用在系统压差控制必须是高精度、高可靠性的场合。

通过使用定风量阀、双稳态阀可以严格控制洁净室送风量、排风量,从而形成稳定的压差风量,控制洁净室的压差稳定。

使用送风变风量阀对房间进行调控,使送风管阀流量追踪排风管阀流量,可形成稳定的压差风量,控制洁净室压差稳定使用送风定风量阀、回风变风量阀对房间进行调控,使回风阀跟踪房间压差的变化,并自动调整房间压差,可形成稳定的压差风量,控制洁净室压差稳定。

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